工信部部長李樂成：裝光刻膠的玻璃瓶已在產(chǎn)線上試用，反應很好

1月12日，工業(yè)和信息化部部長李樂成表示，這個裝光刻膠的玻璃瓶也是重大的科技攻關(guān)內(nèi)容之一。它能確保光刻膠在運輸和保管儲藏過程中不受污染、不受影響，結(jié)束了我們過去光刻膠整個行業(yè)幾乎100%依賴國外的歷史?，F(xiàn)在這個產(chǎn)品已經(jīng)在產(chǎn)線上試用了，反應很好。

光刻膠作為芯片制造的核心材料，常被形象地稱為“芯片制造的墨水”，其純凈度與穩(wěn)定性直接關(guān)乎芯片的良品率。長期以來，我國光刻膠產(chǎn)業(yè)鏈面臨諸多挑戰(zhàn)：關(guān)鍵原料樹脂、光引發(fā)劑高度依賴進口，高端光刻膠（如ArF和EUV級產(chǎn)品）被日美企業(yè)主導，甚至連用于盛裝光刻膠的專用玻璃容器也完全受制于國外供應。

此次在玻璃容器技術(shù)上的突破，雖看似細微，卻意義重大——它徹底消除了光刻膠在運輸與存儲環(huán)節(jié)的污染隱患，為我國光刻膠全產(chǎn)業(yè)鏈實現(xiàn)自主可控補上了關(guān)鍵一環(huán)。

在政策支持、市場需求拉動以及企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的多重驅(qū)動下，中國電子化學品行業(yè)國產(chǎn)化進程顯著加速，如國內(nèi)光刻膠企業(yè)已實現(xiàn)從樹脂、光敏劑到成品的全鏈條自主化，部分產(chǎn)品已進入國際半導體大廠供應鏈，在光刻膠核心技術(shù)、高端產(chǎn)品和市場拓展上形成多維突破。其中，在KrF光刻膠領(lǐng)域，多家國內(nèi)上市公司已實現(xiàn)量產(chǎn)并通過核心客戶驗證，頭部企業(yè)已攻克KrF光刻膠關(guān)鍵技術(shù)，進入量產(chǎn)爬坡階段。（校對/趙月）