都說(shuō)中國(guó)模仿能力強(qiáng),為何ASML的光刻機(jī),無(wú)法拆了來(lái)模仿?
眾所周知,目前卡住中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的關(guān)鍵設(shè)備是光刻機(jī)。只要光刻機(jī)突破,擁有自己的浸潤(rùn)式光刻機(jī),以及EUV光刻機(jī),芯片產(chǎn)業(yè)的脖子就沒(méi)有了,美國(guó)就卡不住了。
而近日ASML對(duì)光刻機(jī)出口進(jìn)行了補(bǔ)充說(shuō)明,TWINSCAN NXT:2000i及之后的浸沒(méi)式光刻機(jī)不能出口,浸潤(rùn)式光刻機(jī),只能出口比較落后的TWINSCAN NXT:1950i

很多人表示,把這臺(tái)光刻機(jī)買(mǎi)回來(lái),然后拆了研究,再模仿出來(lái),以后就能夠自己生產(chǎn)浸潤(rùn)式光刻機(jī),不需要ASML了。
那么問(wèn)題就來(lái)了,大家都說(shuō)中國(guó)的模仿能力強(qiáng),ASML的光刻機(jī),我們能模仿出來(lái)么?
事實(shí)上,之前網(wǎng)上就流傳一句話,那就是給你們?nèi)坠饪虣C(jī)的圖紙,中國(guó)也制造不出光刻機(jī)來(lái),意思就是光刻機(jī),不是看了圖紙,或者知道原理就能造出來(lái)的。

要是真能夠模仿,估計(jì)國(guó)內(nèi)早就有了浸潤(rùn)式光刻機(jī)了,甚至連EUV光刻機(jī)都有了。
原因在于ASML的光刻機(jī),需要大量的核心元件,這些元件,是模仿不出來(lái)的,而國(guó)外廠商也不賣(mài)給你,我們制造不出來(lái),所以高端光刻機(jī),我們制造不出來(lái)。

光刻機(jī)有三大核心部分,一是光源,二是物鏡系統(tǒng),三是工作臺(tái)。
就拿浸潤(rùn)式光刻機(jī)來(lái)說(shuō),光源這一塊,需要193nm的紫外線光源,這一塊我們能夠搞定,工作臺(tái)方面,我們也算是能夠搞定,最多品質(zhì)差一點(diǎn)點(diǎn),精度差一點(diǎn)點(diǎn)。
但是物鏡系統(tǒng)這一塊,國(guó)內(nèi)搞不定。物鏡系統(tǒng)是光刻機(jī)中最昂貴的部分,浸沒(méi)式光刻物鏡異常復(fù)雜,涵蓋了光學(xué)、機(jī)械、計(jì)算機(jī)、電子學(xué)等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域最前沿。
目前全球只有一家廠商有這個(gè)技術(shù),那就是德國(guó)的蔡司公司,不過(guò)它的技術(shù)不能賣(mài)給中國(guó),是受限制的。

所以,就算我們知道光刻機(jī)原理,甚至拿到圖紙,還有ASML的實(shí)物光刻機(jī),拆了又拆,也制造不出物鏡系統(tǒng)來(lái),因?yàn)檫@是全球最頂尖的光學(xué)技術(shù),我們沒(méi)有。
所以,很多高精尖的東西,并不是模仿就能夠模仿出來(lái)的,能夠模仿的,都是沒(méi)有太多科技含量,沒(méi)有什么門(mén)檻的東西,作為全球最精密的儀器--光刻機(jī),要是能這么好模仿,那就卡不住脖子了。
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