繞過(guò)美國(guó)禁令，ASML或閹割浸潤(rùn)式光刻機(jī)精度，特供中國(guó)？

眾所周知，以前美國(guó)是不準(zhǔn)EUV光刻機(jī)賣(mài)到中國(guó)來(lái)，其它的光刻機(jī)不受限。

后來(lái)在去年10月份，將光刻機(jī)禁令升級(jí)了，規(guī)定光刻機(jī)如果采用193nm波長(zhǎng)的光源，且分辨率小于45nm時(shí)，其光刻機(jī)套刻精度的DCO值小于1.5nm時(shí)， 不準(zhǔn)出口。

按照這個(gè)規(guī)定，ASML的浸潤(rùn)式光刻機(jī)中，還有NXT:1980Di可以出口，因?yàn)樗腄CO值是1.6nm。

而在8月份，華為Mate60 手機(jī)橫空出世，搭載了麒麟9000S芯片，這顆芯片采用的是等效于7nm的工藝，很多人認(rèn)為，這是浸潤(rùn)式光刻機(jī)經(jīng)過(guò)多重曝光生產(chǎn)出來(lái)的。

于是在今年10月17日，美國(guó)升級(jí)光刻機(jī)禁令，規(guī)定193nm波長(zhǎng)的光源，分辨率小于45nm時(shí)，其DCO值小于2.4nm，就不能出口，相當(dāng)于將唯一的一臺(tái)浸潤(rùn)式光刻機(jī)，也堵住了。

這對(duì)于ASML而言，肯定是大事，畢竟中國(guó)大陸的市場(chǎng)，是ASML無(wú)法放棄的市場(chǎng)。2022年，中國(guó)從ASML買(mǎi)了大約100臺(tái)光刻機(jī)，價(jià)值高達(dá)200多億。

而2023年前三個(gè)季度，ASML就向中國(guó)賣(mài)了53億歐元的光刻機(jī)，價(jià)值400多億，是去年全年的2倍多，第三季度的時(shí)候，中國(guó)大陸貢獻(xiàn)了ASML營(yíng)收的46%。

這樣的市場(chǎng)，ASML怎么舍得？再說(shuō)了，ASML擔(dān)心一旦它的光刻機(jī)不賣(mài)到中國(guó)市場(chǎng)，中國(guó)會(huì)自己研發(fā)出來(lái)，那么就沒(méi)ASML什么事了。

所以近日有消息稱(chēng)，ASML看到NVIDIA刀法如神，每次都能按照美國(guó)的禁令，進(jìn)行精準(zhǔn)閹割，推出不違反禁令，又能賣(mài)到中國(guó)大陸市場(chǎng)的GPU芯片之后，有了誰(shuí)啟發(fā)，決定對(duì)其光刻機(jī)也進(jìn)行閹割。

按照禁令，浸潤(rùn)式光刻機(jī)，采用193nm波長(zhǎng)的光源，分辨率小于45nm，但只要DCO值大于2.4nm即可銷(xiāo)量，小于2.4nm就不能銷(xiāo)售。

所以ASML計(jì)劃將現(xiàn)有的浸潤(rùn)式光刻機(jī)進(jìn)行調(diào)整，光源不變，分辨率不變依然保持38nm，但DCO值調(diào)整，讓其變成2.4nm以上，這樣就可以出口了。

而DCO值調(diào)整之后，對(duì)芯片制造的分辨率有一定的影響，比如生產(chǎn)先進(jìn)芯片時(shí)，有可能會(huì)影響到良率，效率等，但至少已經(jīng)不受限制了。

浸潤(rùn)式光刻機(jī)，與非浸潤(rùn)式光刻機(jī)相比，就算DCO值變成2.4nm+了，工藝也會(huì)先進(jìn)很多，目前中國(guó)大陸無(wú)法生產(chǎn)出浸潤(rùn)式光刻機(jī)，上海微電子的工藝還在90nm，這樣閹割的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，依然大有市場(chǎng)。

當(dāng)然，以上只是傳聞，會(huì)不會(huì)如此，還不清楚，但參照Nvidia迅速推出中國(guó)特供版本GPU芯片來(lái)看，ASML這么干，也非常有可能，你覺(jué)得呢？

這樣的光刻機(jī)，我們買(mǎi)不買(mǎi)？不黑不吹，在自己沒(méi)有浸潤(rùn)式光刻機(jī)之前，只能買(mǎi)，畢竟它還是比普通干式光刻機(jī)強(qiáng)很多的，所以關(guān)鍵還是國(guó)產(chǎn)光刻機(jī)突破。