三星研發(fā)“智能傳感器系統(tǒng)”，用于提高半導(dǎo)體良率和產(chǎn)能

12 月 26 日消息，根據(jù)韓媒 ETNews 報(bào)道，三星電子公司正在開(kāi)發(fā)“智能傳感器系統(tǒng)”，用于控制和管理半導(dǎo)體工藝。

圖源：三星

注：提高半導(dǎo)體良率的關(guān)鍵點(diǎn)之一是，精確控制半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中等離子體均勻性和密度，而“智能傳感器系統(tǒng)”用于測(cè)量晶圓等離子均勻性，準(zhǔn)確測(cè)量和管理蝕刻、沉積和清洗的工藝性能，有望提高半導(dǎo)體良率和產(chǎn)能。

三星現(xiàn)有的晶圓智能傳感器大部分采購(gòu)自美國(guó)等國(guó)外廠商，耗資數(shù)千萬(wàn)韓元。而近期對(duì)提高產(chǎn)量的需求不斷飆升，倒逼三星轉(zhuǎn)向自研，降低對(duì)外國(guó)傳感器的依賴程度。

據(jù)了解，三星電子正在開(kāi)發(fā)的智能傳感器是超小型的，不會(huì)對(duì)現(xiàn)有設(shè)備空間產(chǎn)生重大影響，這意味著可以在提高空間利用率的同時(shí)提高產(chǎn)能。

據(jù)報(bào)道，三星電子計(jì)劃逐步擴(kuò)大智能傳感器的開(kāi)發(fā)和應(yīng)用范圍，其目的不僅限于等離子體，而是開(kāi)發(fā)可用于各種半導(dǎo)體工藝的 SMART 傳感器和系統(tǒng)。