半導體行業開啟“材料時代”，先進材料和清洗方案比光刻機更重要

行業專家表示，半導體行業在過去20多年時間里，光刻領域的進步，主要由特殊設備決定的；而在未來10年里，將過渡到“材料時代”。

美國耗材供應商Entegris首席技術官James O'Neill表示，當前半導體行業掌控“更精細”工藝技術的角色，已經從光刻設備遷移到用于硅晶圓加工的先進材料和清洗解決方案上。

O'Neill表示材料領域的創新，是推動半導體元件生產率提高的關鍵。

默克集團電子業務總經理凱?貝克曼同樣支持上述觀點，表示未來10年會是“材料時代”。

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