耗資140億韓元，Justem領銜開發(fā)HBM混合鍵合設備

韓國晶圓廠設備制造商Justem計劃開發(fā)一款用于未來高帶寬存儲器（HBM）的混合鍵合設備。

該公司已被韓國產(chǎn)業(yè)通商資源部選中，負責領導一項耗資140億韓元的項目，其中75億韓元由政府直接撥款，用于開發(fā)用于超大規(guī)模集成電路HBM的混合鍵合堆疊設備。

該項目將從2025年持續(xù)到2029年，為期四年。除了Justem之外，LG電子生產(chǎn)工程研究所（PRI）、仁荷大學、Conception 和慶北科技園也參與其中。Justem及其合作伙伴必須開發(fā)出滿足政府規(guī)定的芯片間最小對準誤差和堆疊厚度的設備。

作為該項目的牽頭方，Justem將負責開發(fā)該設備的鍵合機制并監(jiān)督其整體開發(fā)。LG PRI將利用其運動控制技術，負責高精度鍵合頭的開發(fā)。Conception將利用其3D打印技術開發(fā)設備的各個部件。仁荷大學和慶北科技園區(qū)將負責評估工作，例如鍵合質(zhì)量。消息人士稱，LG PRI參與該項目可能是其進軍混合鍵合設備市場傳聞的原因。

混合鍵合是一種先進的封裝技術，將兩個芯片的銅表面直接鍵合，而不是通過凸塊鍵合。這可以提高速度和帶寬，同時降低功耗。去除凸塊還可以使芯片更薄。因此，隨著人工智能（AI）和高性能計算（HPC）的興起，混合鍵合被認為是未來 HBM、圖像傳感器、高性能邏輯芯片以及其他芯片的必備技術。美國應用材料和荷蘭Besi公司被認為是混合鍵合領域的領導者，其設備正被臺積電使用。在韓國，韓華半導體和韓美半導體正在開發(fā)混合鍵合設備。

Justem迄今為止的專長是除濕和氣體控制設備，例如Justem氣流矯直機。消息人士稱，憑借這項最新的政府項目，該公司目前正計劃拓展先進封裝領域。（校對/趙月）