三星電子將從16層HBM開始逐步引入混合鍵合技術

三星電子預計將從16層高帶寬存儲器（HBM）開始逐步引入混合鍵合技術。

7月22日，在京畿道城南市韓國半導體產業協會舉辦的“商用半導體開發技術研討會”上，三星電子DS部門半導體研究所下一代研究團隊常務董事金大宇表示：“一旦HBM超過16層，現有的熱壓鍵合（TC）將無法實現”，并表示“我們正準備從16層HBM開始引入混合鍵合”。

HBM是一種將多個DRAM垂直堆疊以提高數據處理速度的半導體。鍵合是連接DRAM的工藝，而TC鍵合機是該工藝中必不可少的HBM制造設備。

隨著下一代HBM層數的增加，需要努力縮小堆疊間隙。因此，混合鍵合的引入正在被討論中。混合鍵合是一種消除現有微凸塊（焊球）并將DRAM直接連接到銅的技術，其優勢在于可以減少HBM的厚度。

三星電子表示，其將在16層的第7代HBM“HBM4E”中同時采用TC鍵合和混合鍵合技術，并將從20層的第8代HBM“HBM5”開始全面量產。

目前已商業化的最新HBM產品是第5代“HBM3E”，其堆疊層數最高可達12層。據推測，其將沿用現有技術，直至第6代HBM的16層“HBM4”，并從第 7 代產品開始逐步引入下一代技術。

金副社長表示：“如果間距小于15μm，我們將不得不轉向不使用焊料的混合鍵合技術”，并且“混合鍵合還具有散熱性好的優勢，因此我們正在積極研究。”