投資超50億元！全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線投產

據中電二公司消息，近日，由中電二公司承建的中國蚌埠傳感谷8英寸MEMS晶圓生產線EPC項目首批產品成功下線，標志著全國首條8英寸MEMS晶圓全自動生產線、全國首條工藝設備配套齊全的壓電MEMS量產線正式投產。

項目總建設投資達50.6億元，占地約79畝，總建筑面積約6萬平方米。作為國家級重點項目、全部建成投產后，將具備月產3萬片晶圓的能力，成為國內產出最大的MEMS全自動晶圓生產線。

據經開區生態環境分局消息，2024年8月23日，我局受理了《安徽華鑫微納集成電路有限公司8英寸MEMS晶圓生產線項目環境影響報告表》（重新報批），現對該報告全本進行公示。根據公示，該項目為“8英寸MEMS晶圓生產線項目”，建設地點在安徽省蚌埠市經開區中國（蚌埠）傳感谷東側地塊，建設單位為安徽華鑫微納集成電路有限公司。8 英寸 MEMS 晶圓生產線項目由安徽華鑫微納集成電路有限公司投資506175 萬元興建，位于安徽省蚌埠市經開區中國（蚌埠）傳感谷東側地塊，總占地面積約 103000m2，項目分二期建設。

據蚌埠發布報道，2024年10月20日，蚌埠傳感谷八寸線配套生產廢水集中處理站EPC項目順利完成主體結構封頂，正式步入設備安裝及裝飾裝修階段。