中芯寧波自主體聲波諧振器工藝平臺已支持多家芯片廠商實現量產

據EETOP從業內消息人士獲悉，中芯集成電路（寧波）有限公司（以下簡稱“中芯寧波”）的自主體聲波諧振器工藝技術平臺SASFR ，已支持多家設計公司實現射頻前端中高頻體聲波濾波器（BAW）量產，客戶產品性能已達到國內最優、業界先進水平，可開始向高端手機供貨，在中國大陸獨樹一幟，也在長期被國外廠商壟斷的中高端體聲波濾波器領域，實現了具有全自主知識產權的核心技術和規模制造突圍。

SASFR（SuspendedAcoustic Separated Film Resonator，也稱“懸浮聲學隔離薄膜諧振器”）是中芯寧波全自主開發并擁有全套自主知識產權的一種懸臂式薄膜體聲波諧振器工藝與器件技術，包含集成空腔的諧振器前道晶圓工藝平臺以及后道晶圓級芯片封裝與測試配套技術。與業界沿用多年的傳統技術路線大相徑庭，SASFR 平臺在薄膜工藝構架和諧振器件設計上，實現了真正意義上的自主創新突破，且其諧振器關鍵性能指標可與國際競品比肩，個別性能甚至高于國際水平。

這一自主體聲波濾波器晶圓工藝平臺，其核心諧振微器件能夠實現射頻信號的高性能篩選、降噪、濾波或諧振等多重功能。基于這一平臺設計的0.8至6.0 GHz射頻濾波器產品，具有低插損、高隔離度、微型化、高功率、體積小等諸多優點，應用范圍廣泛，所支持產品設計和開發靈活性強，基本覆蓋了5G通信所有領域，如手機、無線通信基站、智能電表，以及智能家電信息交互等應用場景。

SASFR 工藝技術和規模制造平臺是中芯寧波的核心產品線之一。2019年啟動產品線研發后，中芯寧波只用不到兩年的時間，就通過了多家客戶的產品認證并實現量產。

據芯智訊了解，去年4月底，國產EDA軟件、集成無源器件IPD和系統級封裝領域的領先供應商芯和半導體就曾宣布，基于中芯寧波自主開發的高性能體聲波諧振器技術以及全套晶圓級加工與封裝工藝技術，芯和半導體的首款自主設計和開發的高頻段體聲波濾波器產品正式發布，并已向本土無線終端客戶送樣，進入系統客戶的驗證和測試階段，并于2020年第三季度進入批量生產和供貨。

另據新聲公司負責人表示，選擇中芯寧波作為戰略合作伙伴的最重要原因是，SASFR 工藝平臺是中芯寧波CEO黃河博士親自率領團隊從零開始全自主開發，知識產權完全自主可控。啟動客戶推廣與產品合作以來，新聲在中芯寧波代工的體聲波濾波器良率和可靠性快速提升。中芯寧波用兩年的時間走過了國外IDM十年的發展道路。

據了解，此前中芯寧波相關業務負責人曾表示，公司CEO黃河博士是SASFR 的核心發明人。公司研發和晶圓廠運營團隊在黃河博士的領導下從零起步，排除各種質疑，戰勝無數艱難險阻，純粹憑借團隊自身的力量，堅定地走全自主工藝技術開發道路，短時間內完成了全套晶圓制造工藝、晶圓級封裝和測試的開發、設置和驗證并進入產業化，創造了奇跡。

業內專家評價說，中芯寧波SASFR 制造平臺的成功充分說明，憑借自主創新的堅定決心、團結實干的優秀隊伍和互信共贏的市場合作，完全有可能在一些國外壟斷的領域實現知識產權安全的產業化突破。

隨著5G商用的啟動，國內濾波器出貨量呈現爆發式增長態勢。業內分析機構預測，2022年全球濾波器市場規模將達到160億美元，其中體聲波濾波器占比約47%，市場規模約75億美元。目前，國內中高頻體聲波濾波器市場仍然主要被Broadcom和Qorvo等國外廠商所壟斷。