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關鍵詞: 韓國 EUV 光刻膠
12月21日消息,韓國光刻膠供應商東進世美肯(Dongjin Semichem)表示,近日通過了三星電子的EUV光刻膠可靠性測試(合格)。這款光刻膠為雙方合作研發,打破韓國EUV光刻膠完全依賴海外供應商的局面,最快有望明年上半年向產線批量供應。
據ETNews報道,業內人士表示,“東進世美肯在其位于京畿道的華城工廠開發了EUV光刻膠,并在三星電子的華城EUV生產線進行了測試,最終獲得了資格?!辈⒀a充道:“兩家公司的合作,使得EUV光刻膠能夠以高技術水平快速開發?!?/p>
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