炬光科技為ASML核心供應商提供核心激光光學元器件

近日炬光科技在投資者互動平臺表示，公司為荷蘭ASML核心供應商A公司提供光刻機用光場勻化器和半導體晶圓退火核心元器件。公司多年來一直為半導體光刻應用領域提供光刻機曝光系統中的核心激光光學元器件光場勻化器，供應給世界頂級光學企業A公司，最終應用于全球高端光刻機生產商的核心設備。

根據官網資料顯示，炬光科技成立于2007年，該公司主要從事激光行業上游的高功率半導體激光元器件、激光光學元器件的研發、生產和銷售。擁有經驗豐富的技術研發團隊，現已形成共晶鍵合技術、熱管理技術、熱應力控制技術、界面材料與表面工程、測試分析診斷技術、線光斑整形技術、光束轉換技術、光場勻化技術（光刻機用）和晶圓級同步結構化激光光學制造技術九大類核心技術，產品逐步被應用于先進制造、醫療健康、科學研究、汽車應用、消費電子五大領域。炬光科技擁有國家地方聯合工程研究中心、博士后科研工作站，獲得國家技術創新示范企業等科研榮譽。2020年，炬光科技成功進入臺積電供應鏈。

據了解，炬光科技的光場勻化器應用于國內主要光刻機研發項目和樣機中，并供應給世界頂級光學企業A公司，最終應用于ASML的光刻機中。而目前德國蔡司是ASML光刻機最重要的光學零部件供應商，因此，德國蔡司很有可能就是炬光科技前面提到的A公司。根據招股書顯示，炬光科技的光場勻化器單價在20萬元左右，2021年上半年用于光刻和其他應用的毛利率分別為67.3%和76.85%，是所有產品中毛利率最高的。

而炬光科技光場勻化器技術似乎主要源于2017年5月對于德國LIMO公司的收購。資料顯示，LIMO成立于1992年，位于德國多特蒙德，為各種類型的激光器提供折射微光學和光學整形系統。2018年UV-L750線光斑系統獲得了國際光學工程學會（SPIE）頒發的全球光電行業最高榮譽之一Prism Awards棱鏡獎。

截至2021年6月30日，公司在中國境內依法取得專利證書的專利共計295項，其中發明專利117項、實用新型專利150項、外觀設計專利28項，在中國境外依法取得專利證書的專利共計110項。公司科技成果分別獲得陜西省科學技術獎一等獎、西安市科學技術獎一等獎，2019年被國家知識產權局授予“國家知識產權示范企業”。