7.0級地震沖擊中國臺灣半導(dǎo)體晶圓廠，石英爐管損耗才是復(fù)工關(guān)鍵

中國臺灣宜蘭外海12月27日深夜發(fā)生規(guī)模7.0地震，業(yè)者分析，對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)影響僅次于“921”大地震及2024年“0403”地震，盡管多數(shù)機(jī)臺能快速復(fù)歸，但石英爐管的破損程度與備料匹配度，將成為產(chǎn)線能否全面復(fù)原的關(guān)鍵。

石英爐管是半導(dǎo)體制造過程中，位于擴(kuò)散制程機(jī)臺核心的圓柱形容器，能提供相對純凈的空間，確保硅晶圓在加工過程中不被金屬離子污染。由于石英“硬而脆”的特性，地震時的劇烈晃動容易導(dǎo)致爐管與機(jī)臺框架發(fā)生碰撞而破碎。

提供邏輯與存儲晶圓代工服務(wù)的力積電表示，竹科與竹南的8英寸、12英寸廠產(chǎn)線均受地震影響，主要為石英相關(guān)設(shè)備與材料，相關(guān)損害仍在評估與盤點，受損細(xì)節(jié)尚未完全明朗。目前影響范圍涵蓋產(chǎn)線設(shè)備與關(guān)鍵材料，待盤點結(jié)果出爐后，才能更精準(zhǔn)量化對財務(wù)與產(chǎn)能的沖擊。

力積電指出，此次地震的嚴(yán)重程度僅次于1999年“921”大地震和2024年“0403”地震、排在第三。從過往經(jīng)驗看，規(guī)模較小的地震后約2~3天，產(chǎn)線可恢復(fù)正常運作，但此次需視石英爐管備料與實際損壞狀況而定。

力積電表示，石英爐管屬關(guān)鍵流程環(huán)節(jié)，修復(fù)與更換所需時間較長，其他機(jī)臺將盡快復(fù)歸，但整體復(fù)原時程取決于石英爐管材料供應(yīng)與安裝恢復(fù)。雖然2024年“0403”地震后已增加石英材料庫存，仍需評估可用性與匹配度，若有破碎需更換，將延長裝機(jī)與校準(zhǔn)的時間，進(jìn)而影響后續(xù)晶圓交期。

存儲廠南亞科表示，內(nèi)部仍在針對地震災(zāi)損進(jìn)行完整詳細(xì)的確認(rèn)，還需要多一些時間，預(yù)計12月29日上班會統(tǒng)一說明。

根據(jù)中國臺灣地震報告，12月27日晚間11時5分發(fā)生芮氏規(guī)模7.0地震，地震深度72.8公里，震央位于宜蘭縣政府東方32.3公里（位于中國臺灣東部海域），中國臺灣多地最大震度4級。